Описание
Четыре зонда квадратного сопротивления testBlock сопротивление является физическим количеством для характеристики проводимости тонких пленок. Он обычно измеряется четырех-детектор датчик. Этот метод прост в основном, удобен в обработке данных и неразрушительный при измерении, поэтому он широко используется. на следующем рисунке показан случай, когда ток проходит через мембрану в параллельном режиме, где d-толщина мембраны, 1-ток, L1-это длина мембраны в направлении тока, а L2-длина мембраны, перпендикулярной току.